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全自动影像测量仪产生测量误差的原因分析
编辑:南通智泰精密仪器有限公司   时间:2020-11-06

  在全自动影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统对焦对准依靠显微镜光学系统还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。

  基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:

  1.光栅计数尺的误差;

  2.工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

  3.工作台两测量轴垂直度带了的误差;

  4.显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;

  5.测量室温度带来的误差;

  过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。后项则常被忽视而在实际测量中当光源照明条件改变时直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为全自动影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有自动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能导致被测工件影像在缩小当亮度过低时,工件影像反而变大。

  这种影响对于测量具有重复图形结构之间的间距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变,其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或变小,间距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺寸、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度都将带来明显的误差。

全自动型影像测量仪

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