X1 轴测量范围  

Z1轴测量范围  

     218-633DC  

       CV-2100M4  

100 mm  

50 mm  

     Z1轴  

50 mm  

垂直移动  

350 mm 快速上下动和微动  

X1 轴倾角范围  

±45°　手动  

类型  

X1轴  

反射型线性编码器  

Z1轴  

圆弧光栅尺  

分辨力  

X1轴  

0.1 μm  

Z1轴  

0.1 μm  

驱动速度  

X1轴  

0～20 mm/s外加手动  

测量速度  

0.02～5 mm/s  

直线度（以X1轴为水平方向上）  

2.5μm/100 mm  

指示精度  

X1 轴  

±（2.5＋0.02L）μm  L为驱动长度（mm）  

（20℃）  

Z1轴  

±（2.5＋｜0.1H｜）μm    

H：基于水平位置的测量高度（mm）  

测针上／下运作  

弧形移动  

测量方向  

向前/向后  

测针方向  

向下  

测力  

30±10 mN  

跟踪角度  

向上  

77°（依表面粗糙度而定）  

向下  

87°（依表面粗糙度而定）  

*使用配置的标准测头  

测针针尖  

尖端半径  

25μm  

材料  

硬质合金  

基座尺寸  

600×450 mm  

基座材料  

花岗岩  

尺寸  

主机  

651×143×138.5 mm  

立柱部  

885×745×450 mm  

重量  

主机  

5.8 kg  

立柱部  

140 kg  

使用温度范围  

0～40 ℃  

使用湿度范围  

20～80 %RT 但是不能结露  

保存温度范围  

-10～50 ℃  

保存湿度范围  

5～90 %RT 但是不能结露  

电源  

AC 100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz  

消耗功率  

30 W